크린룸에 관계있는 규격은 KS. JIS규격이 있지만 ICR(공업용 클린룸)에는 미국연방규격(U.S Fed. Std. 209D)과 BCR(바이오크린룸)에는 미국항공우주국규격(NASA-NHB 5340-2)이 일반적으로 사용되고 있습니다.

▶ Fed Std. 209D의 개요
    연방규격 209D 요지

클린룸 클라스	미립자		압력 mmAq	온도			습도			기류 / 환기회수	조도
	입경 μ	입자수 개/ft³		범위 ℃	추상치 ℃	오차 ℃	최고 ％	최저 ％	오차 ％		Lux
100	≥0.5	≤100	1.25 이상	19.4 ∼ 25	22.2	±2.8 특별한 경우 ±0.28	45	30	±10 특별한 경우 ±5	층류방식 0.45m/s ±0.1m/s 활류방식 ≥20회/h	1,080 ∼ 1,620
1,000	≥0.5 ≥5.0	≤1,000  ≤7
10,000	≥0.5 ≥5.0	≤10,000  ≤65
100,000	≥0.5 ≥5.0	≤100,000  ≤700

▶ NASA-NHB 5340-2의 개요
    미국항공우주국 NASA규격(NHB 5340.2)

바이오 클린룸 클라스	미립자		세균
	입경 μ	누적입자수 개/ft³(개/ℓ)	부유량 개/ft³(개/ℓ)	침강량 개/ft³(개/ℓ)
100	≥0.5	≤100(≤3.5)	≥0.1(0.0035)	1,200(12,900)
10,000	≥0.5	≤10,000(≤350)	≥0.5(0.0176)	6,000(64,600)
	≥5.0	≤65(≤2.3)
100,000	≥0.5	≤100,000(≤3,500)	≥2.5(0.0884)	30,000(323,000)
	≥5.0	≤700(≤25)

▶ JIS B9920요지
    청정도 클라스의 상한농도(개/㎥)

입경 ㎛	청정도 클라스
	클라스1	클라스2	클라스3	클라스4	클라스5	클라스6	클라스7	클라스8
0.1	10¹	10²	10³	10⁴	10(5)	10(6)	10(7)	10(8)
0.2	2	24	236	2,360	23,600	-	-	-
0.3	1	10	101	1,010	10,100	101,000	1,010,000	10,100,000
0.5	(0.35)	(3.5)	35	350	3,500	35,000	350,000	3,500,000
5.0	-	-	-	-	-	29	2,900	29,000
청정도 클라스 입경범위	0.1∼0.3		0.1∼0.5		0.1∼0.5	0.3∼0.5